虽然目前我国在光刻机等高精度设备的制造上依旧没能掌握主动权,但在其他重要装备的制造上已经成功打破西方出口限制和垄断,不仅实现了自给自足,而且还远销海外。
例如国产盾构机、国产蚀刻机等,其中前者属于工业机械设备,而后者则属于半导体行业,河北蚀刻机是芯片制造过程中除光刻机之外的另一重要设备。
蚀刻机被应用于芯片蚀刻环节,技术门槛之高和重要性不输光刻机,但国内已经有一家企业,成功实现了蚀刻机的自主研发和生产,该企业正是中微半导体。据公开资料显示,中微半导体成立于2004年,至今为止已经半导体领域发展16年,要知道,对于一家半导体企业而言,16年的时间并不算长。但中微半导体就是在短短16年间实现了国产蚀刻机从无到有,再到突破。
据笔者了解,在成立之初,中微半导体就十分重视自主知识产权,因此即便在营收不尽人意的情况下,依旧坚持一定的研发投入,截至2019年,公司已经成功掌握了多款具有自主知识产权的芯片设备,同时还在全球范围内申请1200多项专利。
值得一提的是,在2018年,美方还涉嫌侵犯中微半导体专利权的设备,在中微半导体向中国海关提出扣押嫌疑货物时,相关美企主动与中微半导体谈判,双方达成互相授权和解协议。由此可见,中微半导体在两年前就已经掌握了先进的技术,如今河北蚀刻机的成绩更加出众。
据多方媒体报道,中微半导体是世界成功研制出5nm精度蚀刻机的企业,目前该公司研发的5nm蚀刻机已经通过了台积电的验证,预计2020年会被台积电应用于5nm生产线。除了台积电之外,联华电子、海力士、长江存储等行业巨头均为中微半导体的客户。
上述巨头的认可,足以证明中微半导体的技术以及产品实力,同时也意味着河北蚀刻机终于崛起,为国产光刻机树立了榜样。
此外,除了蚀刻设备之外,中微半导体的MOCVD设备市场占有率也位列全球前位,同时,中微半导体的营收能力也随之水涨船高,2019年该公司实现营收19.47亿元,净利润1.89亿元。